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株式会社荏原製作所

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  2020年 出願公開件数ランキング    第163位 266件 下降2019年:第145位 326件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第151位 191件 上昇2019年:第168位 167件)

(ランキング更新日:2022年8月18日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6795336 悪臭防止型排水設備 2020年12月 2日
特許 6795337 膜厚信号処理装置、研磨装置、膜厚信号処理方法、及び、研磨方法 2020年12月 2日
特許 6795915 アノードに給電可能な給電体及びめっき装置 2020年12月 2日
特許 6789871 半導体製造装置の動作に関する表示を制御する方法を実行するプログラム、当該方法及び半導体製造装置の動作に関する表示を行うシステム 2020年11月25日
特許 6792471 カップリングガードおよび機械装置 2020年11月25日
特許 6792512 基板洗浄装置および基板処理装置 2020年11月25日
特許 6785695 除害機能付ドライ真空ポンプ 2020年11月18日
特許 6786292 研磨装置 2020年11月18日
特許 6786668 真空排気システム 2020年11月18日
特許 6782145 基板処理制御システム、基板処理制御方法、およびプログラム 2020年11月11日
特許 6779173 基板処理装置、プログラムを記録した記録媒体 2020年11月 4日
特許 6779633 研磨装置 2020年11月 4日
特許 6779671 ポンプ装置、運転情報送信方法、および運転情報表示プログラム 2020年11月 4日
特許 6779807 液封式真空ポンプ 2020年11月 4日
特許 6780974 カップリングガードおよび機械装置 2020年11月 4日

195 件中 16-30 件を表示

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6795336 6795337 6795915 6789871 6792471 6792512 6785695 6786292 6786668 6782145 6779173 6779633 6779671 6779807 6780974

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