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株式会社荏原製作所

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  2022年 出願公開件数ランキング    第160位 226件 下降2021年:第150位 281件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第116位 299件 下降2021年:第114位 242件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7153616 基板洗浄装置および基板洗浄方法 2022年10月14日
特許 7152279 研磨装置 2022年10月12日
特許 7150634 電子線照射装置および電子ビームの位置合わせ方法 2022年10月11日
特許 7150659 検査装置 2022年10月11日
特許 7149689 映像表示システムおよび映像表示方法 2022年10月 7日
特許 7149869 基板洗浄方法および基板洗浄装置 2022年10月 7日
特許 7148312 位置調節装置 2022年10月 5日
特許 7148349 基板処理装置および基板処理方法 2022年10月 5日
特許 7146663 基板ホルダ及びめっき装置 2022年10月 4日
特許 7144974 給水装置 2022年 9月30日
特許 7145084 基板処理装置および基板処理装置において部分研磨されるべき領域を特定する方法 2022年 9月30日
特許 7145098 研磨装置、研磨方法、および研磨液供給位置決定プログラムを記録した記録媒体 2022年 9月30日
特許 7145283 バフ処理装置および基板処理装置 2022年 9月30日
特許 7144218 治具、及び治具を用いた設置方法 2022年 9月29日
特許 7143061 給水装置 2022年 9月28日

300 件中 61-75 件を表示

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7153616 7152279 7150634 7150659 7149689 7149869 7148312 7148349 7146663 7144974 7145084 7145098 7145283 7144218 7143061

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