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株式会社荏原製作所

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  2022年 特許取得件数ランキング    第116位 299件 下降2021年:第114位 242件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7161954 制御システム、制御システムのプログラムを記録した記録媒体、および制御システムの方法 2022年10月27日
特許 7161965 立軸ポンプおよび摩耗量検出方法 2022年10月27日
特許 7161418 基板洗浄装置、基板処理装置、洗浄部材のセルフクリーニング方法 2022年10月26日
特許 7161646 めっき装置およびめっき方法 2022年10月26日
特許 7160662 電動機組立体 2022年10月25日
特許 7160725 基板処理装置 2022年10月25日
特許 7161085 めっき装置 2022年10月25日
特許 7158223 研磨ヘッドおよび研磨装置 2022年10月21日
特許 7158256 立軸ポンプ 2022年10月21日
特許 7157521 基板研磨方法、トップリングおよび基板研磨装置 2022年10月20日
特許 7157645 基板洗浄装置 2022年10月20日
特許 7157692 異物除去装置を備えたポンプ 2022年10月20日
特許 7157708 電子線検査装置の二次光学系を評価する方法 2022年10月20日
特許 7155035 研磨装置および研磨方法 2022年10月18日
特許 7153490 研磨装置およびキャリブレーション方法 2022年10月14日

300 件中 46-60 件を表示

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7161954 7161965 7161418 7161646 7160662 7160725 7161085 7158223 7158256 7157521 7157645 7157692 7157708 7155035 7153490

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