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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第2117位 10件 (2014年:第2283位 9件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第1611位 11件 (2014年:第3032位 6件)
(ランキング更新日:2024年9月20日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5819969 | プラズマエッチング方法 | 2015年11月24日 | |
特許 5774539 | プラズマエッチング方法 | 2015年 9月 9日 | |
特許 5762491 | エッチング方法 | 2015年 8月12日 | |
特許 5750495 | 締結構造、該締結構造を用いた基板処理装置及び該締結構造に用いられるワッシャ付被締結部材 | 2015年 7月22日 | |
特許 5749166 | シリコン構造体の製造方法及びその製造装置並びにその製造プログラム | 2015年 7月15日 | |
特許 5731715 | プラズマ処理装置 | 2015年 6月10日 | |
特許 5710711 | 基板製造方法 | 2015年 4月30日 | |
特許 5689209 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2015年 3月25日 | |
特許 5687396 | プラズマ処理装置 | 2015年 3月18日 | |
特許 5687397 | プラズマ処理装置及びこれに用いられる開閉機構 | 2015年 3月18日 | |
特許 5669991 | プラズマ処理装置 | 2015年 2月18日 |
11 件中 1-11 件を表示
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5819969 5774539 5762491 5750495 5749166 5731715 5710711 5689209 5687396 5687397 5669991
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