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SPPテクノロジーズ株式会社

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  2015年 出願公開件数ランキング    第2117位 10件 上昇2014年:第2283位 9件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第1611位 11件 上昇2014年:第3032位 6件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5819969 プラズマエッチング方法 2015年11月24日
特許 5774539 プラズマエッチング方法 2015年 9月 9日
特許 5762491 エッチング方法 2015年 8月12日
特許 5750495 締結構造、該締結構造を用いた基板処理装置及び該締結構造に用いられるワッシャ付被締結部材 2015年 7月22日
特許 5749166 シリコン構造体の製造方法及びその製造装置並びにその製造プログラム 2015年 7月15日
特許 5731715 プラズマ処理装置 2015年 6月10日
特許 5710711 基板製造方法 2015年 4月30日
特許 5689209 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2015年 3月25日
特許 5687396 プラズマ処理装置 2015年 3月18日
特許 5687397 プラズマ処理装置及びこれに用いられる開閉機構 2015年 3月18日
特許 5669991 プラズマ処理装置 2015年 2月18日

11 件中 1-11 件を表示

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5819969 5774539 5762491 5750495 5749166 5731715 5710711 5689209 5687396 5687397 5669991

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