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SPPテクノロジーズ株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第2176位 10件 下降2018年:第2064位 10件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第1271位 14件 上昇2018年:第2192位 7件)

(ランキング更新日:2025年3月14日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6612947 基板搬送装置、及びこれを用いた基板搬送方法 2019年11月27日
特許 6584339 半導体素子の製造方法 2019年10月 2日
特許 6585526 配線基板の製造方法 2019年10月 2日
特許 6567487 プラズマエッチング方法 2019年 8月28日
特許 6563174 歯車機構 2019年 8月21日
特許 6541739 プラズマエッチング方法 2019年 7月10日
特許 6537688 プラズマ処理装置における基板の脱離方法 2019年 7月 3日
特許 6529768 半導体製造装置用管理システム 2019年 6月12日
特許 6529943 半導体素子の製造方法及びその製造方法に用いられるプラズマエッチング装置 2019年 6月12日
特許 6522180 基板載置台及びこれを備えたプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2019年 5月29日
特許 6510679 プラズマ制御装置 2019年 5月 8日
特許 6490754 プラズマ処理装置 2019年 3月27日
特許 6472469 SiGe層のエッチング方法 2019年 2月20日
特許 6455783 高周波電力システム及びこれを備えたプラズマ処理装置 2019年 1月23日

14 件中 1-14 件を表示

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6612947 6584339 6585526 6567487 6563174 6541739 6537688 6529768 6529943 6522180 6510679 6490754 6472469 6455783

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