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SPPテクノロジーズ株式会社

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 ■ 2021年 特許取得件数ランキング    第1475位 12件 (上昇2020年:第1550位 11件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6977199 プラズマ処理用ガス、プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2021年12月 8日
特許 6979094 コンピュータプログラム、半導体製造装置、基板昇降装置及び半導体製造方法 2021年12月 8日
特許 6970774 携帯端末、方法及びプログラム 2021年11月24日
特許 6970858 保守支援システム、保守支援方法、プログラム及び加工画像の生成方法 2021年11月24日
特許 6934726 スパッタエッチング用マスク、スパッタエッチング方法及びスパッタエッチング装置 2021年 9月15日
特許 6929021 シリコン酸化膜の製造方法 2021年 9月 1日
特許 6915073 プラズマ着火方法及びプラズマ生成装置 2021年 8月 4日
特許 6865727 SiGe層のエッチング方法 2021年 4月28日
特許 6837603 支援システム、支援方法及びプログラム 2021年 3月 3日
特許 6824029 防着筒及びこれを備えた基板処理装置 2021年 2月 3日
特許 6824074 エッチング方法 2021年 2月 3日
特許 6812237 プラズマ処理装置 2021年 1月13日

12 件中 1-12 件を表示

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6977199 6979094 6970774 6970858 6934726 6929021 6915073 6865727 6837603 6824029 6824074 6812237

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