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バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド

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  2014年 特許取得件数ランキング    第1674位 14件 下降2013年:第1509位 16件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5645178 高密度ワイドリボンイオンビーム生成のための小型プラズマソース 2014年12月24日
特許 5610543 イオンソース 2014年10月22日
特許 5605729 絶縁材料に囲まれた導電デバイス、および電圧構造を電気的に遮蔽する方法 2014年10月15日
特許 5594547 堆積する方法、エッチングする方法、および、フィーチャの製造方法 2014年 9月24日
特許 5578533 太陽電池製造用の自己位置合わせマスキング 2014年 8月27日
特許 5568813 マルチモードイオン源を提供する方法 2014年 8月13日
特許 5534608 トリプルジャンクション破壊に起因するイオン注入装置における不安定性を防ぐ高圧絶縁装置 2014年 7月 2日
特許 5517132 ガスを混合させることによってイオン源の性能を向上させると共にイオン源を長寿命化する技術 2014年 6月11日
特許 5500486 イオンソースのクリーニング方法および装置 2014年 5月21日
特許 5472861 基板から層をへき開する方法及びデバイス 2014年 4月16日
特許 5449515 リボンビームの均一性向上のための方法 2014年 3月19日
特許 5399074 リボン状イオンビームの成形装置およびその方法 2014年 1月29日
特許 5397624 イオン注入機に電子を閉じ込める技術 2014年 1月22日
特許 5397623 ビーム密度の二次元測定システム、方法および装置 2014年 1月22日

14 件中 1-14 件を表示

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5645178 5610543 5605729 5594547 5578533 5568813 5534608 5517132 5500486 5472861 5449515 5399074 5397624 5397623

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