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バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド

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  2015年 出願公開件数ランキング    第5202位 3件 下降2014年:第2742位 7件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第1611位 11件 上昇2014年:第1674位 14件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5831770 イオンビームの中心線軌跡を中心に静電レンズを制御する方法および装置 2015年12月 9日
特許 5818168 四重極レンズ、システムおよび方法 2015年11月18日
特許 5796076 高導電性静電チャック 2015年10月21日
特許 5791089 固有周波数を増大させた複合静電レンズ 2015年10月 7日
特許 5791722 ビームブロッカを用いたワークピースへのパターン注入 2015年10月 7日
特許 5791734 コネクタアセンブリ及び超電導限流器 2015年10月 7日
特許 5773317 マスクおよび装置 2015年 9月 2日
特許 5773319 レジストフィーチャの表面粗度を低減する方法、およびパターニングレジストフィーチャの粗度を修正する方法 2015年 9月 2日
特許 5733830 シートを形成する方法及び装置 2015年 6月10日
特許 5709867 基板を処理する方法 2015年 4月30日
特許 5704577 プラズマ処理装置および処理対象物を処理する方法 2015年 4月22日
特許 5652771 分子イオンを生成する方法および装置 2015年 1月14日

12 件中 1-12 件を表示

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5831770 5818168 5796076 5791089 5791722 5791734 5773317 5773319 5733830 5709867 5704577 5652771

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