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バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド

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  2011年 出願公開件数ランキング    第7099位 2件 下降2010年:第1442位 19件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第1799位 12件 上昇2010年:第2584位 6件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4827156 能動的な静電シールおよび静電真空ポンプ 2011年11月30日
特許 4822240 二重パルスを使用して,低電圧のプラズマドーピングをする方法および装置。 2011年11月24日
特許 4822489 真空変動中にイオン注入を制御するための方法及び装置 2011年11月24日
特許 4817656 間接的に加熱されるカソードイオン源 2011年11月16日
特許 4817574 プラズマ処理装置内の電流測定値から変位電流を除去するための方法及び装置 2011年11月16日
特許 4803941 間接的に加熱される陰極イオン源のための陰極組立体 2011年10月26日
特許 4803878 プラズマ浸漬イオン注入ドーピング装置用のドーズ量モニター 2011年10月26日
特許 4727572 高速で対象物を取り扱う方法および装置 2011年 7月20日
特許 4730932 広いダイナミックレンジのイオンビームスキャナー 2011年 7月20日
特許 4693142 階層的状態機械を使ってシステムを制御するための方法及び装置 2011年 6月 1日
特許 4666448 中空カソードを含むプラズマドーピングシステム。 2011年 4月 6日
特許 4632393 イオン注入のための高伝搬で,低エネルギーのビームラインのアーキテクチャー 2011年 2月16日

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4827156 4822240 4822489 4817656 4817574 4803941 4803878 4727572 4730932 4693142 4666448 4632393

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