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バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7174142 グリッチを検出するためのシステム及び方法 2022年11月17日
特許 7144530 プロセスチャンバウインドウを冷却するためのシステム及び装置 2022年 9月29日
特許 7127210 イオン注入システムにおける発泡体 2022年 8月29日
特許 7125549 高スループットイオンビーム処理のための抽出装置及びシステム 2022年 8月24日
特許 7121462 様々なグレーチングを有する回折光学素子を形成するためのシステムおよび方法 2022年 8月18日
特許 7121801 イオン注入装置内の粒子を低減するための導電性ビーム光学素子 2022年 8月18日
特許 7118516 性能改善された抽出セット 2022年 8月16日
特許 7118519 固体ドーパント材料のための挿入可能なターゲットホルダ 2022年 8月16日
特許 7112523 保持力を加えるOリングを使用するためのシステム 2022年 8月 3日
特許 7106698 バンチ化されたイオンビームを生成するための装置及び技術 2022年 7月26日
特許 7083033 処理の均一性を改善するための基板ハローの配置 2022年 6月 9日
特許 7080357 インライン表面エンジニアリングソースを使用するシステム及び方法 2022年 6月 3日
特許 7050163 内部加熱要素を含む電導性ビーム光学系 2022年 4月 7日
特許 7034378 バンチ化されたイオンビームを生成するための新規な装置及び技術 2022年 3月11日
特許 7019050 犠牲マスクの除去を改善するための技術 2022年 2月14日

15 件中 1-15 件を表示

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7174142 7144530 7127210 7125549 7121462 7121801 7118516 7118519 7112523 7106698 7083033 7080357 7050163 7034378 7019050

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