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バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド

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  2016年 出願公開件数ランキング    第3542位 5件 上昇2015年:第5202位 3件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第2385位 7件 下降2015年:第1611位 11件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6052184 静電クランプおよびイオン注入システム 2016年12月27日
特許 6014587 高表面抵抗率の静電チャック 2016年10月25日
特許 5995335 シリコン結晶基板を成長するための装置および方法 2016年 9月21日
特許 5983955 位置合わせ装置、ワークピースローディング装置および位置合わせ方法 2016年 9月 6日
特許 5896572 基板プラズマ処理方法 2016年 3月30日
特許 5871403 処理システムにおけるイオンの質量、エネルギー、および角度をモニターする技術および装置 2016年 3月 1日
特許 5858496 多段階イオン注入を利用してパターニングされたフォトレジストを修正する方法およびシステム 2016年 2月10日
特許 5839240 装置および装置の動作方法 2016年 1月 6日

8 件中 1-8 件を表示

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6052184 6014587 5995335 5983955 5896572 5871403 5858496 5839240

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