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バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド

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バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッドの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特許 5109209	イオン注入装置およびその方法	2012年12月26日
特許 5101303	ビームグリッチを回復するための高速ビーム偏向部を有するウェハ走査イオン注入器	2012年12月19日
特許 5097131	リボン状イオンビームのイオン注入システムのアーキテクチャ	2012年12月12日
特許 5084085	ビーム電流センサを使用してイオンビーム装置を位置合わせするための方法及び装置	2012年11月28日
特許 5075193	イオン注入装置およびその方法	2012年11月14日
特許 5072163	高能率走査イオン注入器	2012年11月14日
特許 5071976	安定かつ反復可能なプラズマイオン注入方法	2012年11月14日
特許 5059097	イオン注入システム	2012年10月24日
特許 5044418	イオンビーム測定装置および方法	2012年10月10日
特許 5013563	プラズマドーピングシステムのためのドーズ量モニター	2012年 8月29日
特許 4942128	レーザーアニーリングおよび急速熱アニーリングにより極めて浅い接合を形成する方法	2012年 5月30日	共同出願
特許 4942129	ＧａＡｓウエハ用のウエハ方向センサー	2012年 5月30日
特許 4925544	間接的に加熱されるカソードイオンソース用の制御装置	2012年 4月25日
特許 4911898	ターゲットの移動をともなうプラズマ注入システムおよび方法	2012年 4月 4日
特許 4854056	冷却装置及びクランピング装置	2012年 1月11日

15 件中 1-15 件を表示

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5109209 5101303 5097131 5084085 5075193 5072163 5071976 5059097 5044418 5013563 4942128 4942129 4925544 4911898 4854056

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