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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第1605位 15件
(2011年:第7099位 2件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第1614位 15件
(2011年:第1799位 12件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5109209 | イオン注入装置およびその方法 | 2012年12月26日 | |
特許 5101303 | ビームグリッチを回復するための高速ビーム偏向部を有するウェハ走査イオン注入器 | 2012年12月19日 | |
特許 5097131 | リボン状イオンビームのイオン注入システムのアーキテクチャ | 2012年12月12日 | |
特許 5084085 | ビーム電流センサを使用してイオンビーム装置を位置合わせするための方法及び装置 | 2012年11月28日 | |
特許 5075193 | イオン注入装置およびその方法 | 2012年11月14日 | |
特許 5072163 | 高能率走査イオン注入器 | 2012年11月14日 | |
特許 5071976 | 安定かつ反復可能なプラズマイオン注入方法 | 2012年11月14日 | |
特許 5059097 | イオン注入システム | 2012年10月24日 | |
特許 5044418 | イオンビーム測定装置および方法 | 2012年10月10日 | |
特許 5013563 | プラズマドーピングシステムのためのドーズ量モニター | 2012年 8月29日 | |
特許 4942128 | レーザーアニーリングおよび急速熱アニーリングにより極めて浅い接合を形成する方法 | 2012年 5月30日 | 共同出願 |
特許 4942129 | GaAsウエハ用のウエハ方向センサー | 2012年 5月30日 | |
特許 4925544 | 間接的に加熱されるカソードイオンソース用の制御装置 | 2012年 4月25日 | |
特許 4911898 | ターゲットの移動をともなうプラズマ注入システムおよび方法 | 2012年 4月 4日 | |
特許 4854056 | 冷却装置及びクランピング装置 | 2012年 1月11日 |
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5109209 5101303 5097131 5084085 5075193 5072163 5071976 5059097 5044418 5013563 4942128 4942129 4925544 4911898 4854056
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