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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2014年 出願公開件数ランキング    第59位 659件 変わらず2013年:第59位 716件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第54位 625件 下降2013年:第51位 717件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-150186 プラズマ処理装置 2014年 8月21日
特開 2014-150187 プラズマ処理装置 2014年 8月21日
特開 2014-149392 パターン形成装置及びパターン形成方法 2014年 8月21日
特開 2014-149177 欠陥検査装置および欠陥検査方法 2014年 8月21日
特開 2014-147296 核酸検査装置 2014年 8月21日
特開 2014-149920 ガス電界電離イオン源、および走査イオン顕微鏡 2014年 8月21日
特開 2014-149919 イオンビーム装置および不純物ガスの除去方法 2014年 8月21日
特開 2014-149921 イオンビーム装置、および試料観察方法 2014年 8月21日
特開 2014-149922 集束イオンビーム装置 2014年 8月21日
特開 2014-149923 荷電粒子線装置 2014年 8月21日
特開 2014-150160 プラズマ処理装置および試料台 2014年 8月21日
特開 2014-145634 パターン評価装置、及び、パターン評価装置を備えた外観検査装置 2014年 8月14日
特開 2014-145661 検体容器移動機構、検体容器移動システムおよび検体容器移動方法 2014年 8月14日
特開 2014-146722 半導体デバイスの管理装置、及び顕微鏡 2014年 8月14日
特開 2014-146526 電子ビーム装置、及び電子ビーム観察方法 2014年 8月14日

659 件中 181-195 件を表示

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2014-150186 2014-150187 2014-149392 2014-149177 2014-147296 2014-149920 2014-149919 2014-149921 2014-149922 2014-149923 2014-150160 2014-145634 2014-145661 2014-146722 2014-146526

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