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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2012年 出願公開件数ランキング    第54位 709件 下降2011年:第52位 689件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第71位 547件 上昇2011年:第98位 350件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5033867 微細構造体、微細構造体の製造方法、及び微細構造体製造用の重合性樹脂組成物 2012年 9月26日
特許 5036757 基板の表面検査装置及び表面検査方法 2012年 9月26日
特許 5037195 検査装置および検査方法 2012年 9月26日
特許 5033589 半導体ウェハの異物検査装置 2012年 9月26日
特許 5033820 全反射顕微鏡装置、及び蛍光試料分析方法 2012年 9月26日
特許 5033365 検査装置 2012年 9月26日
特許 5036645 露光装置及び露光装置のランプ交換方法 2012年 9月26日
特許 5033310 検査装置 2012年 9月26日
特許 5033531 分光蛍光光度計 2012年 9月26日
特許 5033712 表面検査装置 2012年 9月26日
特許 5032764 産業用装置の装置コントローラ 2012年 9月26日
特許 5037303 high−k/メタル構造を備えた半導体素子のプラズマ処理方法 2012年 9月26日
特許 5033314 イオンビーム加工装置及び加工方法 2012年 9月26日
特許 5033374 荷電粒子線装置 2012年 9月26日
特許 5033844 イオン顕微鏡 2012年 9月26日

547 件中 151-165 件を表示

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5033867 5036757 5037195 5033589 5033820 5033365 5036645 5033310 5033531 5033712 5032764 5037303 5033314 5033374 5033844

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