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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5033867 | 微細構造体、微細構造体の製造方法、及び微細構造体製造用の重合性樹脂組成物 | 2012年 9月26日 | |
特許 5036757 | 基板の表面検査装置及び表面検査方法 | 2012年 9月26日 | |
特許 5037195 | 検査装置および検査方法 | 2012年 9月26日 | |
特許 5033589 | 半導体ウェハの異物検査装置 | 2012年 9月26日 | |
特許 5033820 | 全反射顕微鏡装置、及び蛍光試料分析方法 | 2012年 9月26日 | |
特許 5033365 | 検査装置 | 2012年 9月26日 | |
特許 5036645 | 露光装置及び露光装置のランプ交換方法 | 2012年 9月26日 | |
特許 5033310 | 検査装置 | 2012年 9月26日 | |
特許 5033531 | 分光蛍光光度計 | 2012年 9月26日 | |
特許 5033712 | 表面検査装置 | 2012年 9月26日 | |
特許 5032764 | 産業用装置の装置コントローラ | 2012年 9月26日 | |
特許 5037303 | high−k/メタル構造を備えた半導体素子のプラズマ処理方法 | 2012年 9月26日 | |
特許 5033314 | イオンビーム加工装置及び加工方法 | 2012年 9月26日 | |
特許 5033374 | 荷電粒子線装置 | 2012年 9月26日 | |
特許 5033844 | イオン顕微鏡 | 2012年 9月26日 |
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5033867 5036757 5037195 5033589 5033820 5033365 5036645 5033310 5033531 5033712 5032764 5037303 5033314 5033374 5033844
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