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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2012年 出願公開件数ランキング    第54位 709件 下降2011年:第52位 689件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第71位 547件 上昇2011年:第98位 350件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5028193 半導体製造装置における被処理体の搬送方法 2012年 9月19日
特許 5028192 プラズマ処理装置およびプラズマ安定度判定方法 2012年 9月19日
特許 5028181 収差補正器およびそれを用いた荷電粒子線装置 2012年 9月19日
特許 5028159 荷電粒子線装置 2012年 9月19日
特許 5026916 プラズマ処理装置 2012年 9月19日
特許 5022873 核酸分析方法、及び核酸分析装置 2012年 9月12日
特許 5022852 液体クロマトグラフ装置および液体クロマトグラフ分析方法 2012年 9月12日
特許 5022781 パターン欠陥検査装置およびパターン欠陥検査方法 2012年 9月12日
特許 5022191 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 2012年 9月12日
特許 5021503 パターン欠陥解析装置、パターン欠陥解析方法およびパターン欠陥解析プログラム 2012年 9月12日
特許 5025588 スペーサ形成検査裝置、表示用パネル製造裝置及び表示用パネル製造方法 2012年 9月12日
特許 5026326 エッチング処理状態の判定方法、システム 2012年 9月12日
特許 5025609 真空処理装置 2012年 9月12日
特許 5022951 半導体製造システム 2012年 9月12日
特許 5022719 荷電粒子線装置 2012年 9月12日

547 件中 181-195 件を表示

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5028193 5028192 5028181 5028159 5026916 5022873 5022852 5022781 5022191 5021503 5025588 5026326 5025609 5022951 5022719

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