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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2013年 出願公開件数ランキング    第59位 716件 下降2012年:第54位 709件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第51位 717件 上昇2012年:第71位 547件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5319930 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 2013年10月16日
特許 5317618 表示パネルモジュール組立装置及び基板搬送装置 2013年10月16日
特許 5319931 電子顕微鏡システム及びそれを用いたパターン寸法計測方法 2013年10月16日
特許 5315025 スペクトル解析および表示 2013年10月16日
特許 5315033 電子分光器を備えた透過型電子顕微鏡 2013年10月16日
特許 5315040 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置による画像取得条件決定方法 2013年10月16日
特許 5317468 欠陥検査装置 2013年10月16日
特許 5317556 電子線回折像の解析方法及び透過型電子顕微鏡 2013年10月16日
特許 5315277 FPDモジュールの組立装置 2013年10月16日
特許 5314369 欠陥検査装置 2013年10月16日
特許 5315273 FPDモジュールの組立装置 2013年10月16日
特許 5315076 電子線の影響を考慮した半導体検査方法及び装置 2013年10月16日
特許 5315195 走査透過電子顕微鏡および走査透過像観察方法 2013年10月16日
特許 5315302 走査透過電子顕微鏡及びその軸調整方法 2013年10月16日
特許 5308321 ディスクの表面欠陥検査方法および検査装置 2013年10月 9日

717 件中 181-195 件を表示

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5319930 5317618 5319931 5315025 5315033 5315040 5317468 5317556 5315277 5314369 5315273 5315076 5315195 5315302 5308321

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