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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2011年 出願公開件数ランキング    第52位 689件 上昇2010年:第70位 624件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第98位 350件 下降2010年:第95位 307件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4675701 イオンミリング装置およびイオンミリング方法 2011年 4月27日
特許 4675615 不良検査装置並びにプローブ位置決め方法およびプローブ移動方法 2011年 4月27日
特許 4679172 表示用パネル基板の露光装置、表示用パネル基板の露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 2011年 4月27日
特許 4676209 電子レンズ及びこれを用いた荷電粒子線装置 2011年 4月27日
特許 4673170 マルチ電子ビーム描画装置用デバイス及びその製造方法 2011年 4月20日 共同出願
特許 4671770 磁場計測装置 2011年 4月20日
特許 4674177 プラズマ処理装置 2011年 4月20日
特許 4673770 光ヘテロダイン干渉測定方法およびその測定装置 2011年 4月20日
特許 4672050 自動分析装置 2011年 4月20日
特許 4672034 自動分析装置 2011年 4月20日
特許 4673173 プラズマエッチング方法 2011年 4月20日
特許 4672623 半導体検査方法及び装置 2011年 4月20日
特許 4671594 データ収集管理方法およびそのシステム 2011年 4月20日
特許 4668809 表面検査装置 2011年 4月13日
特許 4668807 荷電粒子線装置及び荷電粒子線画像生成方法 2011年 4月13日

350 件中 226-240 件を表示

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4675701 4675615 4679172 4676209 4673170 4671770 4674177 4673770 4672050 4672034 4673173 4672623 4671594 4668809 4668807

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