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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 4996959 | 分注プローブを備えた自動分析装置およびその制御方法 | 2012年 8月 8日 | |
特許 4996856 | 欠陥検査装置およびその方法 | 2012年 8月 8日 | |
特許 4996049 | 薄膜デバイスの膜厚計測方法及び膜厚計測装置 | 2012年 8月 8日 | |
特許 4994250 | キャピラリ電気泳動装置及び電気泳動媒体のリーク検査方法 | 2012年 8月 8日 | |
特許 4994053 | 基板検査装置及び基板検査方法 | 2012年 8月 8日 | |
特許 4993849 | 不良検査装置及び荷電粒子線装置 | 2012年 8月 8日 | |
特許 4996991 | クロマトグラフ装置用試料導入方法及び装置 | 2012年 8月 8日 | |
特許 4994273 | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板移動方法、及び表示用パネル基板の製造方法 | 2012年 8月 8日 | |
特許 4997076 | 荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置における画像生成方法 | 2012年 8月 8日 | |
特許 4997045 | 電子線応用装置に用いられる試料保持機構 | 2012年 8月 8日 | |
特許 4997013 | 電子分光器を備えた電子顕微鏡 | 2012年 8月 8日 | |
特許 4996206 | 形状観察装置および形状観察方法 | 2012年 8月 8日 | |
特許 4995858 | 荷電粒子線装置の光軸調整方法 | 2012年 8月 8日 | |
特許 4995802 | 半導体の加工観察装置、および半導体の加工観察装置の操作方法 | 2012年 8月 8日 | |
特許 4994161 | メタルゲートのドライエッチング方法 | 2012年 8月 8日 |
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4996959 4996856 4996049 4994250 4994053 4993849 4996991 4994273 4997076 4997045 4997013 4996206 4995858 4995802 4994161
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