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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 4988274 | パターンのずれ測定方法、及びパターン測定装置 | 2012年 8月 1日 | |
特許 4988224 | 欠陥検査方法及びその装置 | 2012年 8月 1日 | |
特許 4988223 | 欠陥検査装置およびその方法 | 2012年 8月 1日 | |
特許 4991499 | レチクル検査装置及びレチクル検査方法 | 2012年 8月 1日 | |
特許 4991410 | 集束イオンビーム装置 | 2012年 8月 1日 | |
特許 4991390 | マイクロサンプル加熱用試料台 | 2012年 8月 1日 | |
特許 4991144 | 試料測定方法、及び荷電粒子線装置 | 2012年 8月 1日 | |
特許 4988905 | 荷電粒子線装置 | 2012年 8月 1日 | |
特許 4988662 | 荷電粒子線装置 | 2012年 8月 1日 | |
特許 4988308 | ガス増幅形検出器およびそれを用いた電子線応用装置 | 2012年 8月 1日 | |
特許 4988216 | 収差補正装置を搭載した荷電粒子線装置 | 2012年 8月 1日 | |
特許 4982523 | 蛍光分析方法,蛍光分析装置及び画像検出方法 | 2012年 7月25日 | |
特許 4982266 | 分注処理装置 | 2012年 7月25日 | |
特許 4982435 | 遠隔保守システム | 2012年 7月25日 | |
特許 4982161 | ガス電界電離イオン源、及び走査荷電粒子顕微鏡 | 2012年 7月25日 |
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4988274 4988224 4988223 4991499 4991410 4991390 4991144 4988905 4988662 4988308 4988216 4982523 4982266 4982435 4982161
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