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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5101438 | パーティクルモニタ及びそれを備えた基板処理装置 | 2012年12月19日 | |
特許 5103219 | パターン寸法計測方法 | 2012年12月19日 | |
特許 5103049 | ウエハ載置用電極 | 2012年12月19日 | |
特許 5102580 | 荷電粒子線応用装置 | 2012年12月19日 | |
特許 5103050 | 電子線応用装置 | 2012年12月19日 | |
特許 5103033 | 荷電粒子線応用装置 | 2012年12月19日 | |
特許 5103058 | 欠陥観察装置及び欠陥観察方法 | 2012年12月19日 | |
特許 5103422 | 荷電粒子ビーム装置 | 2012年12月19日 | |
特許 5102968 | 導電性針およびその製造方法 | 2012年12月19日 | |
特許 5094282 | ローカル帯電分布精密計測方法及び装置 | 2012年12月12日 | |
特許 5094288 | プラズマ処理装置 | 2012年12月12日 | |
特許 5096835 | ACF貼付け装置及びフラットパネルディスプレイの製造装置 | 2012年12月12日 | |
特許 5095242 | プラズマ処理方法 | 2012年12月12日 | |
特許 5094033 | パターンマッチング方法、及びパターンマッチングを行うためのコンピュータープログラム | 2012年12月12日 | |
特許 5097495 | 生体分子検出素子及び生体分子検出素子の製造方法 | 2012年12月12日 |
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5101438 5103219 5103049 5102580 5103050 5103033 5103058 5103422 5102968 5094282 5094288 5096835 5095242 5094033 5097495
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