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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2013年 出願公開件数ランキング    第59位 716件 下降2012年:第54位 709件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第51位 717件 上昇2012年:第71位 547件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5281024 試料ステージ及び同ステージを用いた電子顕微鏡装置 2013年 9月 4日
特許 5280983 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置に使用する位置特定方法及びプログラム 2013年 9月 4日
特許 5280928 真空処理装置の運転方法 2013年 9月 4日
特許 5276921 検査装置 2013年 8月28日
特許 5276854 パターン生成装置およびパターン形状評価装置 2013年 8月28日
特許 5276833 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 2013年 8月28日
特許 5276385 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 2013年 8月28日
特許 5275182 分注装置及び分析装置 2013年 8月28日
特許 5275017 欠陥検査方法及びその装置 2013年 8月28日
特許 5277317 荷電粒子顕微鏡 2013年 8月28日
特許 5277250 荷電粒子線応用装置およびその幾何収差測定方法 2013年 8月28日
特許 5277008 パターン測定条件設定方法、及びパターン測定条件設定装置 2013年 8月28日
特許 5276860 走査電子顕微鏡 2013年 8月28日
特許 5274419 荷電粒子線装置 2013年 8月28日
特許 5272051 荷電粒子線装置 2013年 8月28日

717 件中 286-300 件を表示

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5281024 5280983 5280928 5276921 5276854 5276833 5276385 5275182 5275017 5277317 5277250 5277008 5276860 5274419 5272051

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