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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4929296 | 荷電粒子線装置 | 2012年 5月 9日 | |
特許 4929224 | 質量分析システム | 2012年 5月 9日 | |
特許 4929149 | 質量分析スペクトル分析方法 | 2012年 5月 9日 | |
特許 4928862 | 欠陥検査方法及びその装置 | 2012年 5月 9日 | |
特許 4926208 | 走査型電子顕微鏡装置、及び評価ポイント生成方法、並びにプログラム | 2012年 5月 9日 | |
特許 4926116 | 画像検査装置 | 2012年 5月 9日 | |
特許 4925961 | パターン測定装置 | 2012年 5月 9日 | |
特許 4929042 | ウエハエッジクリーナー | 2012年 5月 9日 | |
特許 4928987 | 荷電粒子線調整方法及び荷電粒子線装置 | 2012年 5月 9日 | |
特許 4928971 | 走査形電子顕微鏡 | 2012年 5月 9日 | |
特許 4928893 | プラズマエッチング方法。 | 2012年 5月 9日 | |
特許 4928817 | プラズマ処理装置 | 2012年 5月 9日 | |
特許 4927506 | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の撮像方法 | 2012年 5月 9日 | |
特許 4922705 | プラズマ処理方法および装置 | 2012年 4月25日 | |
特許 4922899 | 尿素水注入装置 | 2012年 4月25日 |
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4929296 4929224 4929149 4928862 4926208 4926116 4925961 4929042 4928987 4928971 4928893 4928817 4927506 4922705 4922899
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