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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4881965 | 液晶露光装置 | 2012年 2月22日 | |
特許 4879112 | 露光装置 | 2012年 2月22日 | |
特許 4879935 | ヘッド位置制御方法、ヘッド位置制御装置および磁気記録評価装置 | 2012年 2月22日 | |
特許 4881677 | 荷電粒子線走査方法及び荷電粒子線装置 | 2012年 2月22日 | |
特許 4876027 | 分注装置 | 2012年 2月15日 | |
特許 4876019 | 欠陥検査装置およびその方法 | 2012年 2月15日 | |
特許 4875936 | 異物・欠陥検出方法および異物・欠陥検査装置 | 2012年 2月15日 | |
特許 4879085 | 露光装置 | 2012年 2月15日 | |
特許 4875921 | 電子ビーム描画装置および電子ビーム検査装置および電子ビーム顕微鏡 | 2012年 2月15日 | |
特許 4878501 | 荷電粒子線応用装置 | 2012年 2月15日 | |
特許 4875905 | 試料保持装置および荷電粒子線装置 | 2012年 2月15日 | |
特許 4875886 | 荷電粒子線装置 | 2012年 2月15日 | |
特許 4878263 | 核酸濃度の判定方法及び核酸分析方法 | 2012年 2月15日 | 共同出願 |
特許 4871910 | ディスクチャック機構およびディスクハンドリングロボット | 2012年 2月 8日 | |
特許 4871788 | 微細試料の加工方法,観察方法及び装置 | 2012年 2月 8日 |
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4881965 4879112 4879935 4881677 4876027 4876019 4875936 4879085 4875921 4878501 4875905 4875886 4878263 4871910 4871788
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