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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第59位 716件
(2012年:第54位 709件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第51位 717件
(2012年:第71位 547件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5193937 | 自動分析装置、及び分析方法 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5192795 | 電子ビーム測定装置 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5192791 | パターン寸法計測方法及び走査電子顕微鏡 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5192455 | 自動分析装置 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5192411 | イオンビーム加工装置及び試料加工方法 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5194154 | ガス電界電離イオン源,走査荷電粒子顕微鏡 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5194133 | イオンビーム装置 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5193904 | プラズマ処理装置 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5193892 | 真空排気装置、及び真空排気装置を備えた荷電粒子線装置 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5193481 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5192850 | エッチング終点判定方法 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5192313 | 接触検出装置および接触検出方法 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5189856 | 真空処理装置のウェットクリーニング方法および真空処理装置の部材 | 2013年 4月24日 | |
特許 5188696 | ウエハ載置用電極 | 2013年 4月24日 | |
特許 5189916 | 微細試料の加工方法,観察方法,及び装置 | 2013年 4月24日 |
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5193937 5192795 5192791 5192455 5192411 5194154 5194133 5193904 5193892 5193481 5192850 5192313 5189856 5188696 5189916
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