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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2013年 出願公開件数ランキング    第59位 716件 下降2012年:第54位 709件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第51位 717件 上昇2012年:第71位 547件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5149610 プラズマ処理装置 2013年 2月20日
特許 5149387 荷電粒子銃及びこれを用いた集束イオンビーム装置 2013年 2月20日
特許 5147327 荷電粒子ビーム照射装置 2013年 2月20日
特許 5144415 欠陥レビュー装置、欠陥レビュー方法及び欠陥レビュー実行プログラム 2013年 2月13日
特許 5143787 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置を利用した評価方法 2013年 2月13日
特許 5143636 自動分析装置 2013年 2月13日
特許 5143264 溶液収納装置 2013年 2月13日
特許 5142976 自動分析装置 2013年 2月13日
特許 5142240 荷電ビーム装置及び荷電ビーム加工方法 2013年 2月13日
特許 5142818 プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のチャック高さ調整方法、及び表示用パネル基板の製造方法 2013年 2月13日
特許 5145116 表面欠陥データ表示管理装置および表面欠陥データ表示管理方法 2013年 2月13日
特許 5137444 OPCモデリング構築方法、情報処理装置、及び半導体デバイスのプロセス条件を決定する方法 2013年 2月 6日
特許 5140103 リニアモータ対、移動ステージ、及び電子顕微鏡 2013年 2月 6日
特許 5139248 荷電粒子線装置、及び荷電粒子線評価装置 2013年 2月 6日
特許 5135116 荷電粒子線を用いた検査方法および検査装置 2013年 1月30日

717 件中 646-660 件を表示

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5149610 5149387 5147327 5144415 5143787 5143636 5143264 5142976 5142240 5142818 5145116 5137444 5140103 5139248 5135116

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