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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第52位 689件
(2010年:第70位 624件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第98位 350件
(2010年:第95位 307件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 4799324 | 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 | 2011年10月26日 | |
特許 4801007 | 電気泳動装置及びそれに用いられるポンプ機構 | 2011年10月26日 | |
特許 4800432 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | 2011年10月26日 | |
特許 4797005 | 表面検査方法及び表面検査装置 | 2011年10月19日 | |
特許 4794471 | 露光装置、及び露光装置の負圧室の天板を交換する方法 | 2011年10月19日 | |
特許 4795883 | パターン検査・計測装置 | 2011年10月19日 | |
特許 4795308 | 内部構造観察用及び電子顕微鏡用試料ホルダー | 2011年10月19日 | |
特許 4795146 | 電子ビーム装置,プローブ制御方法及びプログラム | 2011年10月19日 | |
特許 4795755 | 半導体基板の製造装置 | 2011年10月19日 | 共同出願 |
特許 4795847 | 電子レンズ及びそれを用いた荷電粒子線装置 | 2011年10月19日 | |
特許 4791141 | 電子線式寸法計測装置及びそれを用いた寸法計測方法 | 2011年10月12日 | |
特許 4791333 | パターン寸法計測方法及び走査型透過荷電粒子顕微鏡 | 2011年10月12日 | |
特許 4789651 | シミュレーション装置、シミュレーションプログラム及びシミュレーション方法 | 2011年10月12日 | |
特許 4791267 | 欠陥検査システム | 2011年10月12日 | |
特許 4791840 | 荷電粒子線装置、走査電子顕微鏡、および試料検査方法 | 2011年10月12日 |
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4799324 4801007 4800432 4797005 4794471 4795883 4795308 4795146 4795755 4795847 4791141 4791333 4789651 4791267 4791840
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