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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2011年 出願公開件数ランキング    第52位 689件 上昇2010年:第70位 624件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第98位 350件 下降2010年:第95位 307件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4778755 欠陥検査方法及びこれを用いた装置 2011年 9月21日
特許 4778748 液体クロマトグラフ装置 2011年 9月21日
特許 4776321 間隔測定方法及び間隔測定装置 2011年 9月21日
特許 4778408 ディスクのチャック機構およびディスクキャリア 2011年 9月21日
特許 4774383 データ処理装置、およびデータ処理方法 2011年 9月14日
特許 4774167 プロキシミティ露光装置及びその装置におけるフォトマスク変形補正方法 2011年 9月14日
特許 4773058 画像データ転送方法、画像処理装置およびウェハ外観検査装置 2011年 9月14日
特許 4773079 プラズマ処理装置の制御方法 2011年 9月14日
特許 4768001 有機ELデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 2011年 9月 7日
特許 4769828 荷電粒子ビーム装置 2011年 9月 7日
特許 4769105 ディスクの表面欠陥検査方法および検査装置 2011年 9月 7日
特許 4764436 外観検査方法及び検査装置 2011年 9月 7日
特許 4769025 走査型電子顕微鏡用撮像レシピ作成装置及びその方法並びに半導体パターンの形状評価装置 2011年 9月 7日
特許 4767270 走査電子顕微鏡を備えた外観検査装置及び走査電子顕微鏡を用いた画像データの処理方法 2011年 9月 7日
特許 4764028 プラズマ処理方法 2011年 8月31日

350 件中 106-120 件を表示

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4778755 4778748 4776321 4778408 4774383 4774167 4773058 4773079 4768001 4769828 4769105 4764436 4769025 4767270 4764028

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