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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第1174位 22件
(2010年:第1188位 25件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第1052位 25件
(2010年:第1012位 22件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2011-243741 | 太陽電池の評価装置、評価方法、及び製造方法 | 2011年12月 1日 | |
特開 2011-237465 | 検査装置及び検査方法 | 2011年11月24日 | |
特開 2011-224739 | 欠陥修正装置及び欠陥修正方法 | 2011年11月10日 | |
特開 2011-220757 | 検査装置及び欠陥検査方法 | 2011年11月 4日 | |
特開 2011-215472 | 光源装置、マスク検査装置、及びコヒーレント光発生方法 | 2011年10月27日 | |
特開 2011-211035 | 検査装置並びに欠陥分類方法及び欠陥検出方法 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-209271 | 検査装置及び欠陥分類方法 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-196827 | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法 | 2011年10月 6日 | |
特開 2011-141361 | 異物除去装置、異物除去方法及びパターン基板の製造方法 | 2011年 7月21日 | |
特開 2011-137951 | ペリクル装着装置、ペリクル装着方法、及びパターン基板の製造方法 | 2011年 7月14日 | |
特開 2011-133433 | 基板検査装置、異物除去装置および異物除去方法 | 2011年 7月 7日 | 共同出願 |
特開 2011-106965 | 検査装置、検査方法、及びパターン基板の製造方法 | 2011年 6月 2日 | |
特開 2011-108831 | 太陽電池評価方法及び太陽電池評価システム | 2011年 6月 2日 | |
特開 2011-99946 | ペリクル装着方法 | 2011年 5月19日 | |
特開 2011-95642 | 照明光学系、照明方法、及び検査装置 | 2011年 5月12日 |
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2011-243741 2011-237465 2011-224739 2011-220757 2011-215472 2011-211035 2011-209271 2011-196827 2011-141361 2011-137951 2011-133433 2011-106965 2011-108831 2011-99946 2011-95642
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