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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第1174位 22件 (2010年:第1188位 25件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第1052位 25件 (2010年:第1012位 22件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4844694 | 検査装置及び欠陥分類方法 | 2011年12月28日 | |
特許 4822548 | 欠陥検査装置 | 2011年11月24日 | |
特許 4822468 | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法 | 2011年11月24日 | |
特許 4822471 | EUVマスク検査装置及びEUVマスク検査方法 | 2011年11月24日 | |
特許 4822103 | 検査装置及び検査方法並びにパターン基板の製造方法 | 2011年11月24日 | |
特許 4793852 | パターン基板の欠陥修正装置、欠陥修正方法及びパターン基板製造方法 | 2011年10月12日 | |
特許 4793851 | カラーフィルタ基板のステージ装置及び検査装置 | 2011年10月12日 | |
特許 4775943 | 検査装置及び検査方法並びにそれを用いたシリンダブロックの製造方法 | 2011年 9月21日 | |
特許 4761589 | 汚染防止装置、汚染防止方法、露光装置、及びパターン付きウエハの製造方法 | 2011年 8月31日 | |
特許 4761574 | 検査装置、補正方法、検査方法及びパターン基板の製造方法 | 2011年 8月31日 | |
特許 4761588 | EUVマスク検査装置 | 2011年 8月31日 | |
特許 4716148 | 検査装置並びに欠陥分類方法及び欠陥検出方法 | 2011年 7月 6日 | |
特許 4715955 | マスク検査方法、マスク検査装置 | 2011年 7月 6日 | |
特許 4710068 | 焦点調整機構、検査装置及び焦点調整方法 | 2011年 6月29日 | |
特許 4701460 | 検査装置、検査方法、及びパターン基板の製造方法 | 2011年 6月15日 |
25 件中 1-15 件を表示
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4844694 4822548 4822468 4822471 4822103 4793852 4793851 4775943 4761589 4761574 4761588 4716148 4715955 4710068 4701460
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