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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第223位 204件
(2013年:第358位 118件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第333位 116件
(2013年:第276位 144件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2014-240609 | 真空ポンプシステム | 2014年12月25日 | |
特開 2014-239050 | 荷電粒子線による検査装置及びその検査装置を用いたデバイス製造方法 | 2014年12月18日 | |
特開 2014-239012 | 検査装置 | 2014年12月18日 | |
特開 2014-237865 | 電解銅めっき装置 | 2014年12月18日 | |
特開 2014-233774 | ロボットアーム制御装置、基板搬送装置、基板処理装置、ロボットアーム制御方法およびプログラム | 2014年12月15日 | |
特開 2014-236546 | モータ、ポンプ | 2014年12月15日 | |
特開 2014-234665 | 地下排水機場およびその運転方法 | 2014年12月15日 | |
特開 2014-231823 | ポンプ装置 | 2014年12月11日 | |
特開 2014-233117 | 潤滑油流出抑制装置、回転機械、潤滑油の流出抑制方法 | 2014年12月11日 | |
特開 2014-231822 | 除害機能付真空ポンプ | 2014年12月11日 | |
特開 2014-228930 | サーボ制御装置 | 2014年12月 8日 | |
特開 2014-227968 | 除害機能付真空ポンプ | 2014年12月 8日 | |
特開 2014-229655 | 基板洗浄装置 | 2014年12月 8日 | |
特開 2014-229181 | 基板処理装置 | 2014年12月 8日 | |
特開 2014-225476 | 検出装置及び検査装置 | 2014年12月 4日 |
204 件中 1-15 件を表示
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2014-240609 2014-239050 2014-239012 2014-237865 2014-233774 2014-236546 2014-234665 2014-231823 2014-233117 2014-231822 2014-228930 2014-227968 2014-229655 2014-229181 2014-225476
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