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株式会社荏原製作所

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  2014年 出願公開件数ランキング    第223位 204件 上昇2013年:第358位 118件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第333位 116件 下降2013年:第276位 144件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-223683 ドレッシング装置、該ドレッシング装置を備えた研磨装置、および研磨方法 2014年12月 4日
特開 2014-222038 ポンプ設備 2014年11月27日
特開 2014-218714 Sn合金めっき装置およびSn合金めっき方法 2014年11月20日
特開 2014-219023 非接触環状シール 2014年11月20日
特開 2014-216392 基板処理装置及び処理基板の製造方法 2014年11月17日
特開 2014-216457 研磨方法および研磨装置 2014年11月17日
特開 2014-214332 基板めっき装置及び基板めっき方法 2014年11月17日
特開 2014-216391 基板処理装置及び処理基板の製造方法 2014年11月17日
特開 2014-216393 基板処理装置及び処理基板の製造方法 2014年11月17日
特開 2014-214743 ポンプ装置 2014年11月17日
特開 2014-216456 基板洗浄装置 2014年11月17日
特開 2014-214715 ポンプ装置 2014年11月17日
特開 2014-212288 液体供給装置、及び基板処理装置 2014年11月13日
特開 2014-211955 検査装置および検査用画像データの生成方法 2014年11月13日
特開 2014-212237 基板処理装置 2014年11月13日

204 件中 16-30 件を表示

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2014-223683 2014-222038 2014-218714 2014-219023 2014-216392 2014-216457 2014-214332 2014-216391 2014-216393 2014-214743 2014-216456 2014-214715 2014-212288 2014-211955 2014-212237

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