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株式会社荏原製作所

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  2014年 出願公開件数ランキング    第223位 204件 上昇2013年:第358位 118件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第333位 116件 下降2013年:第276位 144件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-212288 液体供給装置、及び基板処理装置 2014年11月13日
特開 2014-211201 潤滑油冷却装置、軸受装置およびオイルバス冷却方法 2014年11月13日
特開 2014-209460 電子線検査装置 2014年11月 6日
特開 2014-201835 電気めっき方法 2014年10月27日
特開 2014-203906 基板処理方法 2014年10月27日
特開 2014-202481 検査装置および検査用画像データの生成方法 2014年10月27日
特開 2014-202289 ロータリーバルブ 2014年10月27日 共同出願
特開 2014-196709 自吸式ポンプの運転装置、液体供給装置、及び自吸式ポンプの運転方法 2014年10月16日
特開 2014-197946 キャンドモータおよびこれを備えた液中ポンプ 2014年10月16日
特開 2014-195847 研磨装置及び摩耗検知方法 2014年10月16日
特開 2014-196693 電子線応用装置の鏡筒部へ真空ポンプを接続する真空ポンプ用接続装置、及び該接続装置の設置方法 2014年10月16日
特開 2014-195837 研磨装置 2014年10月16日
特開 2014-195342 ステージ装置及び電子線応用装置 2014年10月 9日
特開 2014-194847 ステージ装置及び電子線応用装置 2014年10月 9日
特開 2014-195050 基板処理方法 2014年10月 9日

204 件中 31-45 件を表示

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2014-212288 2014-211201 2014-209460 2014-201835 2014-203906 2014-202481 2014-202289 2014-196709 2014-197946 2014-195847 2014-196693 2014-195837 2014-195342 2014-194847 2014-195050

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