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株式会社荏原製作所

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　■　2014年出願公開件数ランキング　　　第223位　204件（2013年：第358位　118件）

　■　2014年特許取得件数ランキング　　　第333位　116件（2013年：第276位　144件）

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株式会社荏原製作所の商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特開 2014-172153	研磨パッドの表面性状測定方法	2014年 9月22日	共同出願
特開 2014-172156	研磨液の性状測定装置	2014年 9月22日	共同出願
特開 2014-172161	基板割れ検知装置およびこれを備えた研磨装置並びに基板割れ検知方法	2014年 9月22日
特開 2014-173876	表面電位測定装置および表面電位測定方法	2014年 9月22日
特開 2014-173885	測長計の設置構造	2014年 9月22日
特開 2014-173680	軸継手ガード、回転機器システム	2014年 9月22日
特開 2014-175333	基板搬送装置、基板研磨装置	2014年 9月22日
特開 2014-172155	研磨装置および研磨方法	2014年 9月22日
特開 2014-169475	めっき装置	2014年 9月18日
特開 2014-166678	研磨装置	2014年 9月11日
特開 2014-167996	研磨装置および研磨方法	2014年 9月11日
特開 2014-161944	研磨装置に使用される研磨部材のプロファイル調整方法、および研磨装置	2014年 9月 8日
特開 2014-161938	ドレッサの研磨部材上の摺動距離分布の取得方法、ドレッサの研磨部材上の摺動ベクトル分布の取得方法、および研磨装置	2014年 9月 8日
特開 2014-161927	砥液供給装置、及び基板処理装置	2014年 9月 8日
特開 2014-163340	真空ポンプ	2014年 9月 8日

204 件中 61-75 件を表示

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2014-172153 2014-172156 2014-172161 2014-173876 2014-173885 2014-173680 2014-175333 2014-172155 2014-169475 2014-166678 2014-167996 2014-161944 2014-161938 2014-161927 2014-163340

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