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株式会社荏原製作所

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  2014年 出願公開件数ランキング    第223位 204件 上昇2013年:第358位 118件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第333位 116件 下降2013年:第276位 144件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-172153 研磨パッドの表面性状測定方法 2014年 9月22日 共同出願
特開 2014-172156 研磨液の性状測定装置 2014年 9月22日 共同出願
特開 2014-172161 基板割れ検知装置およびこれを備えた研磨装置並びに基板割れ検知方法 2014年 9月22日
特開 2014-173876 表面電位測定装置および表面電位測定方法 2014年 9月22日
特開 2014-173885 測長計の設置構造 2014年 9月22日
特開 2014-173680 軸継手ガード、回転機器システム 2014年 9月22日
特開 2014-175333 基板搬送装置、基板研磨装置 2014年 9月22日
特開 2014-172155 研磨装置および研磨方法 2014年 9月22日
特開 2014-169475 めっき装置 2014年 9月18日
特開 2014-166678 研磨装置 2014年 9月11日
特開 2014-167996 研磨装置および研磨方法 2014年 9月11日
特開 2014-161944 研磨装置に使用される研磨部材のプロファイル調整方法、および研磨装置 2014年 9月 8日
特開 2014-161938 ドレッサの研磨部材上の摺動距離分布の取得方法、ドレッサの研磨部材上の摺動ベクトル分布の取得方法、および研磨装置 2014年 9月 8日
特開 2014-161927 砥液供給装置、及び基板処理装置 2014年 9月 8日
特開 2014-163340 真空ポンプ 2014年 9月 8日

204 件中 61-75 件を表示

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2014-172153 2014-172156 2014-172161 2014-173876 2014-173885 2014-173680 2014-175333 2014-172155 2014-169475 2014-166678 2014-167996 2014-161944 2014-161938 2014-161927 2014-163340

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