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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第223位 204件
(2013年:第358位 118件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第333位 116件
(2013年:第276位 144件)
(ランキング更新日:2025年6月2日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2014-161944 | 研磨装置に使用される研磨部材のプロファイル調整方法、および研磨装置 | 2014年 9月 8日 | |
特開 2014-160808 | 研磨方法および装置 | 2014年 9月 4日 | |
特開 2014-152547 | 除塵装置用レーキ | 2014年 8月25日 | |
特開 2014-151372 | 研磨装置 | 2014年 8月25日 | |
特開 2014-152650 | ドライ真空ポンプ装置 | 2014年 8月25日 | |
特開 2014-151381 | 研磨装置に使用される液体の流量制御装置 | 2014年 8月25日 | |
特開 2014-150178 | 基板裏面の研磨方法および基板処理装置 | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-147990 | 研磨装置 | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-148755 | めっき装置 | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-147985 | 研磨装置、及び、研磨パッド貼り替え方法 | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-150131 | 研磨装置および研磨方法 | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-149026 | 配管システムおよびポンプ | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-144525 | 研磨方法 | 2014年 8月14日 | |
特開 2014-141925 | 真空ポンプ装置およびその運転方法 | 2014年 8月 7日 | |
特開 2014-138974 | ワークピースを研磨するための研磨パッド並びに化学機械研磨装置、および該化学機械研磨装置を用いてワークピースを研磨する方法 | 2014年 7月31日 |
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2014-161944 2014-160808 2014-152547 2014-151372 2014-152650 2014-151381 2014-150178 2014-147990 2014-148755 2014-147985 2014-150131 2014-149026 2014-144525 2014-141925 2014-138974
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