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株式会社荏原製作所

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  2013年 出願公開件数ランキング    第358位 118件 上昇2012年:第427位 92件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第276位 144件 上昇2012年:第286位 128件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-79606 トンネル用換気設備 2013年 5月 2日
特開 2013-80722 試料表面検査方法及び検査装置 2013年 5月 2日
特開 2013-75358 研磨装置および研磨方法 2013年 4月25日
特開 2013-70102 基板処理装置の排気装置とシステム 2013年 4月18日
特開 2013-64202 めっき装置 2013年 4月11日
特開 2013-64383 遠心ポンプ 2013年 4月11日
特開 2013-57299 横軸ポンプ装置 2013年 3月28日
特開 2013-53372 磁性体膜めっき装置及びめっき処理設備 2013年 3月21日
特開 2013-53629 ポンプ施設 2013年 3月21日
特開 2013-47521 ポンプ設備 2013年 3月 7日
特開 2013-45819 原子間力顕微鏡を用いた化学機械研磨の研磨圧力分布の定量的測定方法 2013年 3月 4日
特開 2013-40395 基板処理装置及び基板処理方法 2013年 2月28日
特開 2013-36881 研磨監視方法および研磨装置 2013年 2月21日
特開 2013-38249 基板処理装置 2013年 2月21日
特開 2013-32715 流体機械 2013年 2月14日

118 件中 91-105 件を表示

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2013-79606 2013-80722 2013-75358 2013-70102 2013-64202 2013-64383 2013-57299 2013-53372 2013-53629 2013-47521 2013-45819 2013-40395 2013-36881 2013-38249 2013-32715

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