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株式会社荏原製作所

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  2014年 出願公開件数ランキング    第223位 204件 上昇2013年:第358位 118件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第333位 116件 下降2013年:第276位 144件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-124730 基板研磨装置、熱伝達部材、および、研磨パッドの表面温度制御方法 2014年 7月 7日
特開 2014-126061 潤滑油流出抑制装置、回転機械、潤滑油の流出抑制方法 2014年 7月 7日
特開 2014-121682 気液分離装置及び研磨装置 2014年 7月 3日
特開 2014-117628 循環式オゾン水供給方法、及び循環式オゾン水供給装置 2014年 6月30日
特開 2014-117776 研磨方法 2014年 6月30日
特開 2014-118578 Sn合金めっき装置及び方法 2014年 6月30日
特開 2014-118929 ドライポンプ装置 2014年 6月30日
再表 2012-99242 給水装置 2014年 6月30日
特開 2014-120096 吐出弁ユニット、及びポンプシステム 2014年 6月30日
特開 2014-119088 吐出弁ユニット、及びポンプシステム 2014年 6月30日
特開 2014-119086 吐出弁ユニット、及びポンプシステム 2014年 6月30日
特開 2014-120650 電子露光装置 2014年 6月30日
特開 2014-120675 電子露光装置 2014年 6月30日
特開 2014-113673 基板保持装置および該基板保持装置を備えた研磨装置 2014年 6月26日
特開 2014-114869 磁気軸受装置、磁気軸受装置に起因する振動の低減方法 2014年 6月26日

204 件中 106-120 件を表示

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2014-124730 2014-126061 2014-121682 2014-117628 2014-117776 2014-118578 2014-118929 2012-99242 2014-120096 2014-119088 2014-119086 2014-120650 2014-120675 2014-113673 2014-114869

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