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株式会社荏原製作所

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  2014年 出願公開件数ランキング    第223位 204件 上昇2013年:第358位 118件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第333位 116件 下降2013年:第276位 144件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-116316 試料観察方法 2014年 6月26日
特開 2014-111301 研磨装置及び研磨方法 2014年 6月19日
特開 2014-112087 荷電粒子線による検査装置及びその検査装置を用いたデバイス製造方法 2014年 6月19日
特開 2014-109500 放射性セシウム除染方法及び装置 2014年 6月12日
特開 2014-109251 真空ポンプ装置およびその運転方法 2014年 6月12日
特開 2014-109220 給水装置および給水方法 2014年 6月12日
特開 2014-110669 制御装置 2014年 6月12日
特開 2014-105548 河川利水運用に関わる方法及び装置 2014年 6月 9日 共同出願
特開 2014-104557 基板保持装置および研磨装置 2014年 6月 9日
特開 2014-103344 研磨方法 2014年 6月 5日
特開 2014-103387 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2014年 6月 5日
特開 2014-97553 基板保持装置および研磨装置 2014年 5月29日
特開 2014-98284 真空ステーション 2014年 5月29日
特開 2014-98283 真空ポンプユニット、及び真空ステーション 2014年 5月29日
特開 2014-98282 真空ポンプユニット、及び真空ステーション 2014年 5月29日

204 件中 121-135 件を表示

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2014-116316 2014-111301 2014-112087 2014-109500 2014-109251 2014-109220 2014-110669 2014-105548 2014-104557 2014-103344 2014-103387 2014-97553 2014-98284 2014-98283 2014-98282

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