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株式会社荏原製作所

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  2012年 特許取得件数ランキング    第286位 128件 上昇2011年:第295位 117件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5081693 動力回収チャンバー 2012年11月28日
特許 5080933 研磨監視方法および研磨装置 2012年11月21日
特許 5074099 サイレンサ 2012年11月14日
特許 5072538 水力コンプレッサ設備及びその運転方法 2012年11月14日
特許 5065944 水力機械の壊食予測方法、壊食予測装置 2012年11月 7日
特許 5065703 回転機械装置における回転機械本体の機種識別方法、回転機械装置 2012年11月 7日
特許 5066011 研磨装置 2012年11月 7日
特許 5066021 PFC処理装置及びPFC含有ガスの処理方法 2012年11月 7日
特許 5066065 ターボ真空ポンプおよび該ターボ真空ポンプを備えた半導体製造装置 2012年11月 7日
特許 5064785 燃料電池システム 2012年10月31日
特許 5058489 試料表面検査装置及び検査方法 2012年10月24日 共同出願
特許 5052413 基板観察装置及び基板研磨装置 2012年10月17日
特許 5048208 フッ素含有化合物を含むガスの処理方法及び装置 2012年10月17日 共同出願
特許 5050024 基板研磨装置および基板研磨方法 2012年10月17日
特許 5048419 ポンプ装置 2012年10月17日

128 件中 16-30 件を表示

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5081693 5080933 5074099 5072538 5065944 5065703 5066011 5066021 5066065 5064785 5058489 5052413 5048208 5050024 5048419

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