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株式会社荏原製作所

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  2014年 出願公開件数ランキング    第223位 204件 上昇2013年:第358位 118件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第333位 116件 下降2013年:第276位 144件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5424784 ドライ真空ポンプ用電源装置、及びその運転方法 2014年 2月26日
特許 5420036 融雪装置の運転制御装置 2014年 2月19日 共同出願
特許 5422245 研磨装置及び研磨方法 2014年 2月19日
特許 5422314 立軸ポンプおよび該立軸ポンプに用いられる水中軸受の監視方法 2014年 2月19日
特許 5419389 三相電動機の制御装置 2014年 2月19日
特許 5422143 基板把持機構 2014年 2月19日
特許 5419388 制御装置一体型の三相電動機 2014年 2月19日
特許 5415735 ドレッシング方法、ドレッシング条件の決定方法、ドレッシング条件決定プログラム、および研磨装置 2014年 2月12日
特許 5417147 給水装置 2014年 2月12日
特許 5415356 基板処理装置の基板搬送方法、スケジューラ、及び基板処理装置の運転制御装置 2014年 2月12日
特許 5405435 海水淡水化システムおよびエネルギー交換チャンバー 2014年 2月 5日
特許 5405277 増圧給水システム 2014年 2月 5日
特許 5400469 研磨装置の動作レシピの作成方法 2014年 1月29日 共同出願
特許 5400408 アノードホルダ用通電部材およびアノードホルダ 2014年 1月29日
特許 5403852 検出装置及び検査装置 2014年 1月29日

116 件中 91-105 件を表示

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5424784 5420036 5422245 5422314 5419389 5422143 5419388 5415735 5417147 5415356 5405435 5405277 5400469 5400408 5403852

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