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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第366位 107件 (2010年:第258位 187件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第252位 139件 (2010年:第315位 98件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2011-113034 | ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法 | 2011年 6月 9日 | |
特開 2011-107192 | ポジ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 | 2011年 6月 2日 | |
特開 2011-107193 | ポジ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 | 2011年 6月 2日 | |
特開 2011-102924 | レジスト組成物、レジストパターン形成方法 | 2011年 5月26日 | |
特開 2011-96839 | 紫外線照射装置、紫外線照射方法及び基板処理装置 | 2011年 5月12日 | |
特開 2011-95429 | ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法、高分子化合物 | 2011年 5月12日 | |
特開 2011-90043 | レジスト組成物、レジストパターン形成方法、高分子化合物、化合物 | 2011年 5月 6日 | |
特開 2011-88121 | 塗布装置 | 2011年 5月 6日 | |
特開 2011-91349 | 表面処理剤及び表面処理方法 | 2011年 5月 6日 | |
特開 2011-85919 | 保護膜形成用材料及びホトレジストパターン形成方法 | 2011年 4月28日 | |
特開 2011-85878 | レジスト組成物、レジストパターン形成方法、新規な化合物および酸発生剤 | 2011年 4月28日 | |
特開 2011-86875 | 塗布装置 | 2011年 4月28日 | 共同出願 |
特開 2011-83748 | 塗布方法、及び塗布装置 | 2011年 4月28日 | |
特開 2011-81146 | レジスト組成物、レジストパターン形成方法、新規な化合物、および酸発生剤 | 2011年 4月21日 | |
特開 2011-81044 | レジスト組成物、レジストパターン形成方法、新規な化合物及び酸発生剤 | 2011年 4月21日 |
107 件中 61-75 件を表示
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2011-113034 2011-107192 2011-107193 2011-102924 2011-96839 2011-95429 2011-90043 2011-88121 2011-91349 2011-85919 2011-85878 2011-86875 2011-83748 2011-81146 2011-81044
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