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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-152845 | ターゲット供給装置 | 2013年 8月 8日 | |
再表 2011-148895 | 固体レーザ装置およびレーザシステム | 2013年 7月25日 | |
特開 2013-145863 | 2光束干渉装置および2光束干渉露光システム | 2013年 7月25日 | |
特開 2013-145105 | 冷却水温度制御装置 | 2013年 7月25日 | |
特開 2013-140771 | ターゲット供給装置 | 2013年 7月18日 | |
特開 2013-141029 | レーザ装置の故障診断システム | 2013年 7月18日 | |
特開 2013-135075 | 固体レーザ増幅器、レーザ光増幅器、固体レーザ装置、およびレーザ装置 | 2013年 7月 8日 | |
特開 2013-135033 | 極端紫外光生成装置 | 2013年 7月 8日 | |
特開 2013-131724 | レーザ装置 | 2013年 7月 4日 | |
特開 2013-131483 | EUV光生成装置、ターゲット回収装置、および、ターゲット回収方法 | 2013年 7月 4日 | |
特開 2013-128156 | ガス放電チャンバ | 2013年 6月27日 | |
特開 2013-127975 | 極端紫外光源装置 | 2013年 6月27日 | |
特開 2013-128155 | ガス放電チャンバ | 2013年 6月27日 | |
再表 2011-102486 | 露光装置用レーザ装置 | 2013年 6月17日 | |
特開 2013-115176 | ホルダ装置、チャンバ装置、および、極端紫外光生成装置 | 2013年 6月10日 |
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2013-152845 2011-148895 2013-145863 2013-145105 2013-140771 2013-141029 2013-135075 2013-135033 2013-131724 2013-131483 2013-128156 2013-127975 2013-128155 2011-102486 2013-115176
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