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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第520位 74件 (2012年:第867位 34件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-110381 | エキシマレーザ装置及びエキシマレーザシステム | 2013年 6月 6日 | |
特開 2013-109854 | チャンバ装置および極端紫外光生成装置 | 2013年 6月 6日 | |
特開 2013-105725 | 極端紫外光生成装置および極端紫外光生成方法 | 2013年 5月30日 | |
特開 2013-98239 | レーザ装置 | 2013年 5月20日 | |
特開 2013-93308 | 極端紫外光生成装置および極端紫外光生成方法 | 2013年 5月16日 | |
特開 2013-84971 | 極端紫外光源用ドライバレーザ | 2013年 5月 9日 | |
特開 2013-84807 | アライメントシステム | 2013年 5月 9日 | |
特開 2013-84892 | チャンバ装置 | 2013年 5月 9日 | |
特開 2013-84993 | 極端紫外光源装置 | 2013年 5月 9日 | |
特開 2013-73733 | ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置 | 2013年 4月22日 | |
特開 2013-69655 | 極端紫外光生成装置 | 2013年 4月18日 | |
特開 2013-70029 | マスタオシレータシステムおよびレーザ装置 | 2013年 4月18日 | |
特開 2013-65804 | レーザ装置およびそれを備える極端紫外光生成システム | 2013年 4月11日 | |
特開 2013-65903 | ガスレーザ装置 | 2013年 4月11日 | |
特開 2013-62146 | 極端紫外光生成装置 | 2013年 4月 4日 |
74 件中 46-60 件を表示
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2013-110381 2013-109854 2013-105725 2013-98239 2013-93308 2013-84971 2013-84807 2013-84892 2013-84993 2013-73733 2013-69655 2013-70029 2013-65804 2013-65903 2013-62146
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