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ギガフォトン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第520位 74件 上昇2012年:第867位 34件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第699位 46件 上昇2012年:第1187位 23件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-110381 エキシマレーザ装置及びエキシマレーザシステム 2013年 6月 6日
特開 2013-109854 チャンバ装置および極端紫外光生成装置 2013年 6月 6日
特開 2013-105725 極端紫外光生成装置および極端紫外光生成方法 2013年 5月30日
特開 2013-98239 レーザ装置 2013年 5月20日
特開 2013-93308 極端紫外光生成装置および極端紫外光生成方法 2013年 5月16日
特開 2013-84971 極端紫外光源用ドライバレーザ 2013年 5月 9日
特開 2013-84807 アライメントシステム 2013年 5月 9日
特開 2013-84892 チャンバ装置 2013年 5月 9日
特開 2013-84993 極端紫外光源装置 2013年 5月 9日
特開 2013-73733 ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置 2013年 4月22日
特開 2013-69655 極端紫外光生成装置 2013年 4月18日
特開 2013-70029 マスタオシレータシステムおよびレーザ装置 2013年 4月18日
特開 2013-65804 レーザ装置およびそれを備える極端紫外光生成システム 2013年 4月11日
特開 2013-65903 ガスレーザ装置 2013年 4月11日
特開 2013-62146 極端紫外光生成装置 2013年 4月 4日

74 件中 46-60 件を表示

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2013-110381 2013-109854 2013-105725 2013-98239 2013-93308 2013-84971 2013-84807 2013-84892 2013-84993 2013-73733 2013-69655 2013-70029 2013-65804 2013-65903 2013-62146

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