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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第520位 74件 (2012年:第867位 34件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-62484 | レーザ装置 | 2013年 4月 4日 | |
特開 2013-51349 | ターゲット供給装置 | 2013年 3月14日 | |
特開 2013-48202 | レーザシステム | 2013年 3月 7日 | |
特開 2013-41051 | 波長変換装置、固体レーザ装置およびレーザシステム | 2013年 2月28日 | |
特開 2013-37787 | ターゲット供給装置、そのノズルのクリーニング機構、および、そのノズルのクリーニング方法 | 2013年 2月21日 | |
特開 2013-33932 | 波長検出器、波長較正システム | 2013年 2月14日 | |
特開 2013-33757 | 極端紫外光源装置 | 2013年 2月14日 | |
特開 2013-30546 | チャンバ装置、極端紫外光生成装置および極端紫外光生成装置の制御方法 | 2013年 2月 7日 | |
特開 2013-20926 | 極端紫外光生成装置 | 2013年 1月31日 | |
特開 2013-21293 | レーザ装置、レーザシステムおよび極端紫外光生成装置 | 2013年 1月31日 | |
特開 2013-12465 | 極端紫外光生成装置および極端紫外光生成方法 | 2013年 1月17日 | |
再表 2011-13779 | 極端紫外光源装置、極端紫外光源装置の制御方法、およびそのプログラムを記録した記録媒体 | 2013年 1月10日 | |
特開 2013-4369 | 極端紫外光生成装置 | 2013年 1月 7日 | |
特開 2013-4258 | 極端紫外光生成装置及び極端紫外光の生成方法 | 2013年 1月 7日 |
74 件中 61-74 件を表示
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2013-62484 2013-51349 2013-48202 2013-41051 2013-37787 2013-33932 2013-33757 2013-30546 2013-20926 2013-21293 2013-12465 2011-13779 2013-4369 2013-4258
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