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キヤノンアネルバ株式会社

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キヤノンアネルバ株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特許 5564139	基板保持装置およびプラズマ処理装置	2014年 7月30日
特許 5563396	アクチュエータ及び基板搬送ロボット	2014年 7月30日
特許 5551501	基板処理装置、及び、基板移載方法	2014年 7月16日
特許 5543601	基板加熱処理装置、基板加熱処理装置の温度制御方法、半導体デバイスの製造方法、基板加熱処理装置の温度制御プログラム及び記録媒体	2014年 7月 9日
特許 5539019	基板支持装置及び真空処理装置	2014年 7月 2日
特許 5535316	発振素子および発振素子の製造方法	2014年 7月 2日
特許 5530346	搬送機構、及び、それを備えた真空処理装置	2014年 6月25日
特許 5529484	基板搬送装置、及び磁気記録媒体の製造方法	2014年 6月25日
特許 5530348	回転駆動装置及び真空処理装置	2014年 6月25日
特許 5530175	真空処理装置	2014年 6月25日
特許 5529648	磁気センサ積層体、その成膜方法、成膜制御プログラムおよび記録媒体	2014年 6月25日
特許 5524586	基板処理装置、該基板処理装置を制御する制御装置および基板処理方法	2014年 6月18日
特許 5513529	成膜方法、成膜装置、および該成膜装置の制御装置	2014年 6月 4日
特許 5502442	マグネトロンスパッタカソード、マグネトロンスパッタ装置及び磁性デバイスの製造方法	2014年 5月28日
特許 5502900	磁気抵抗素子の製造方法	2014年 5月28日

88 件中 31-45 件を表示

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5564139 5563396 5551501 5543601 5539019 5535316 5530346 5529484 5530348 5530175 5529648 5524586 5513529 5502442 5502900

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