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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第870位 33件
(2013年:第724位 46件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第412位 88件
(2013年:第654位 50件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5497765 | 加熱処理装置および半導体デバイスの製造方法 | 2014年 5月21日 | |
特許 5497572 | スパッタリング装置及び真空処理装置 | 2014年 5月21日 | |
特許 5487327 | 基板熱処理装置 | 2014年 5月 7日 | |
特許 5487302 | プラズマ処理装置 | 2014年 5月 7日 | |
特許 5480290 | スパッタリング装置、及び電子デバイスの製造方法 | 2014年 4月23日 | |
特許 5473591 | 搬送振動監視装置及び真空処理装置並びに搬送振動監視方法 | 2014年 4月16日 | |
特許 5469678 | 基板加熱処理装置の温度制御方法、半導体デバイスの製造方法、基板加熱処理装置の温度制御プログラム及び記録媒体 | 2014年 4月16日 | |
特許 5467894 | 基板処理装置及び表示用素子の製造方法 | 2014年 4月 9日 | |
特許 5468895 | 加熱装置及び基板処理装置 | 2014年 4月 9日 | |
特許 5463361 | 平均自由行程を測定する装置および真空容器 | 2014年 4月 9日 | |
特許 5463423 | チャージトラップ型記憶装置及びその製造方法 | 2014年 4月 9日 | |
特許 5468784 | 基板加熱装置、加熱処理方法および半導体デバイスを製造する方法 | 2014年 4月 9日 | |
特許 5457216 | 基板支持装置及び基板搬送装置、電気デバイスの製造方法 | 2014年 4月 2日 | |
特許 5458177 | 半導体装置の製造方法および装置 | 2014年 4月 2日 | |
特許 5461264 | マグネトロンスパッタリング装置、及び、スパッタリング方法 | 2014年 4月 2日 |
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5497765 5497572 5487327 5487302 5480290 5473591 5469678 5467894 5468895 5463361 5463423 5468784 5457216 5458177 5461264
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