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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-204742 基板処理装置の処理室内構成部材及びその温度測定方法 2012年10月22日
特開 2012-204669 処理方法および記憶媒体 2012年10月22日
特開 2012-204698 基板処理装置 2012年10月22日
特開 2012-204806 判定方法、制御方法、判定装置、パターン形成システム及びプログラム 2012年10月22日
特開 2012-202971 流量センサ及びこれを用いたレジスト塗布装置 2012年10月22日
特開 2012-204668 プラズマエッチング方法および記憶媒体 2012年10月22日
特開 2012-204644 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2012年10月22日
特開 2012-202692 温度測定装置及び温度測定方法 2012年10月22日
特開 2012-204582 プラズマ処理装置 2012年10月22日
特開 2012-204521 液処理装置及び液処理方法 2012年10月22日
特開 2012-202693 プラズマ処理装置及び温度測定方法 2012年10月22日
特開 2012-204649 基板処理システム及び該基板処理システムにおける熱再利用方法 2012年10月22日
特開 2012-204598 太陽電池 2012年10月22日
特開 2012-196621 水滅菌装置及び水滅菌方法 2012年10月18日
特開 2012-199282 基板保持装置 2012年10月18日

714 件中 151-165 件を表示

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2012-204742 2012-204669 2012-204698 2012-204806 2012-202971 2012-204668 2012-204644 2012-202692 2012-204582 2012-204521 2012-202693 2012-204649 2012-204598 2012-196621 2012-199282

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