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東京エレクトロン株式会社

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  2026年 出願公開件数ランキング    第31位 234件 上昇2025年:第35位 629件)

  2026年 特許取得件数ランキング    第25位 239件 下降2025年:第23位 821件)

(ランキング更新日:2026年5月1日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2026-72136 基板処理装置及び基板処理方法 2026年 5月 1日
特開 2026-71749 管理装置、基板処理装置、管理プログラム及び温度制御プログラム 2026年 4月30日
特開 2026-71058 基板処理装置およびロックキーの洗浄方法 2026年 4月28日
特開 2026-71407 半導体製造装置、半導体製造装置の処理実行方法 2026年 4月28日
特開 2026-71412 剥離方法、剥離装置および剥離システム 2026年 4月28日
特開 2026-69901 基板処理方法、及び、基板処理装置 2026年 4月27日
特開 2026-70046 基板処理方法および基板処理装置 2026年 4月27日
特開 2026-70457 膜特性計測方法及び膜特性計測装置 2026年 4月27日
特開 2026-68836 基板処理方法及び基板処理装置 2026年 4月23日
特開 2026-68837 基板処理方法及び基板処理装置 2026年 4月23日
特開 2026-68838 基板処理方法及び基板処理装置 2026年 4月23日
特開 2026-69289 検査装置、及び温度調整方法 2026年 4月23日
特開 2026-69405 静電チャック 2026年 4月23日
特開 2026-69537 基板処理方法及び基板処理システム 2026年 4月23日
特開 2026-69592 加熱装置及び加熱方法 2026年 4月23日

236 件中 1-15 件を表示

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2026-72136 2026-71749 2026-71058 2026-71407 2026-71412 2026-69901 2026-70046 2026-70457 2026-68836 2026-68837 2026-68838 2026-69289 2026-69405 2026-69537 2026-69592

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