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東京エレクトロン株式会社

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  2026年 出願公開件数ランキング    第24位 88件 上昇2025年:第35位 629件)

  2026年 特許取得件数ランキング    第26位 78件 下降2025年:第23位 821件)

(ランキング更新日:2026年2月6日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2026-20333 成膜方法及び成膜装置 2026年 2月 6日
特開 2026-20355 表示装置 2026年 2月 6日
特開 2026-20408 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2026年 2月 6日
特開 2026-17627 成膜方法、保護膜及び基板処理装置 2026年 2月 5日
特開 2026-18166 温度を測定するシステム、及び温度を測定する方法 2026年 2月 5日
特開 2026-18168 基板支持器、プラズマ処理装置及び基板支持器の製造方法 2026年 2月 5日
特開 2026-19533 処理システム、取出治具、及び取出方法 2026年 2月 5日
特開 2026-17094 ガス検知装置、ガス供給システム及び基板処理装置 2026年 2月 4日
特開 2026-15960 ステージ、および基板処理装置 2026年 2月 3日
特開 2026-15961 ステージ、基板処理装置、および温度調整方法 2026年 2月 3日
特表 2026-503875 3次元半導体構造の製造 2026年 2月 2日
特開 2026-13515 成膜装置及びその整備方法 2026年 1月29日
特開 2026-13588 成膜方法及び成膜装置 2026年 1月29日
特開 2026-13672 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 2026年 1月29日
特開 2026-13804 液体回収装置および液体回収方法 2026年 1月29日

89 件中 1-15 件を表示

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2026-20333 2026-20355 2026-20408 2026-17627 2026-18166 2026-18168 2026-19533 2026-17094 2026-15960 2026-15961 2026-503875 2026-13515 2026-13588 2026-13672 2026-13804

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