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東京エレクトロン株式会社

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　■　2022年特許取得件数ランキング　　　第38位　690件（2021年：第45位　515件）

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2022-191960	クリーニング方法及びプラズマ処理装置	2022年12月28日
特開 2022-191045	エッチング方法及びエッチング装置	2022年12月27日
特表 2022-553678	埋設電源レールを有するＣＦＥＴのための電力供給ネットワーク	2022年12月26日
特開 2022-188851	基板搬送装置、塗布処理装置、基板搬送方法および基板搬送プログラム	2022年12月22日
特開 2022-188853	気体処理装置及び基板処理装置	2022年12月22日
特開 2022-188854	基板処理装置及び基板処理装置の制御方法	2022年12月22日
特開 2022-189082	プラズマ処理装置	2022年12月22日
特開 2022-189179	シャワーヘッド及び基板処理装置	2022年12月22日
特開 2022-189180	シャワーヘッド及び基板処理装置	2022年12月22日
特開 2022-189284	基板検査装置、基板検査方法及び記憶媒体	2022年12月22日
特開 2022-189496	基板処理方法および基板処理装置	2022年12月22日
特開 2022-190113	基板処理方法、及び基板処理装置	2022年12月22日
特開 2022-188660	成膜方法及び基板処理装置	2022年12月21日
特表 2022-552961	基板の１つ以上の特性を監視するためのシステム及び方法	2022年12月21日
特開 2022-187735	異常検出方法及び異常検出装置	2022年12月20日

846 件中 1-15 件を表示

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2022-191960 2022-191045 2022-553678 2022-188851 2022-188853 2022-188854 2022-189082 2022-189179 2022-189180 2022-189284 2022-189496 2022-190113 2022-188660 2022-552961 2022-187735

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