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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第25位 842件
(
2021年:第33位 878件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第38位 690件
(
2021年:第45位 515件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2022-191960 | クリーニング方法及びプラズマ処理装置 | 2022年12月28日 | |
| 特開 2022-191045 | エッチング方法及びエッチング装置 | 2022年12月27日 | |
| 特表 2022-553678 | 埋設電源レールを有するCFETのための電力供給ネットワーク | 2022年12月26日 | |
| 特開 2022-188851 | 基板搬送装置、塗布処理装置、基板搬送方法および基板搬送プログラム | 2022年12月22日 | |
| 特開 2022-188853 | 気体処理装置及び基板処理装置 | 2022年12月22日 | |
| 特開 2022-188854 | 基板処理装置及び基板処理装置の制御方法 | 2022年12月22日 | |
| 特開 2022-189082 | プラズマ処理装置 | 2022年12月22日 | |
| 特開 2022-189179 | シャワーヘッド及び基板処理装置 | 2022年12月22日 | |
| 特開 2022-189180 | シャワーヘッド及び基板処理装置 | 2022年12月22日 | |
| 特開 2022-189284 | 基板検査装置、基板検査方法及び記憶媒体 | 2022年12月22日 | |
| 特開 2022-189496 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2022年12月22日 | |
| 特開 2022-190113 | 基板処理方法、及び基板処理装置 | 2022年12月22日 | |
| 特開 2022-188660 | 成膜方法及び基板処理装置 | 2022年12月21日 | |
| 特表 2022-552961 | 基板の1つ以上の特性を監視するためのシステム及び方法 | 2022年12月21日 | |
| 特開 2022-187735 | 異常検出方法及び異常検出装置 | 2022年12月20日 |
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2022-191960 2022-191045 2022-553678 2022-188851 2022-188853 2022-188854 2022-189082 2022-189179 2022-189180 2022-189284 2022-189496 2022-190113 2022-188660 2022-552961 2022-187735
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