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東京エレクトロン株式会社

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  2022年 出願公開件数ランキング    第25位 842件 上昇2021年:第33位 878件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第38位 690件 上昇2021年:第45位 515件)

(ランキング更新日:2025年1月31日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2022-191960 クリーニング方法及びプラズマ処理装置 2022年12月28日
特開 2022-191045 エッチング方法及びエッチング装置 2022年12月27日
特表 2022-553678 埋設電源レールを有するCFETのための電力供給ネットワーク 2022年12月26日
特開 2022-188851 基板搬送装置、塗布処理装置、基板搬送方法および基板搬送プログラム 2022年12月22日
特開 2022-188853 気体処理装置及び基板処理装置 2022年12月22日
特開 2022-188854 基板処理装置及び基板処理装置の制御方法 2022年12月22日
特開 2022-189082 プラズマ処理装置 2022年12月22日
特開 2022-189179 シャワーヘッド及び基板処理装置 2022年12月22日
特開 2022-189180 シャワーヘッド及び基板処理装置 2022年12月22日
特開 2022-189284 基板検査装置、基板検査方法及び記憶媒体 2022年12月22日
特開 2022-189496 基板処理方法および基板処理装置 2022年12月22日
特開 2022-190113 基板処理方法、及び基板処理装置 2022年12月22日
特開 2022-188660 成膜方法及び基板処理装置 2022年12月21日
特表 2022-552961 基板の1つ以上の特性を監視するためのシステム及び方法 2022年12月21日
特開 2022-187735 異常検出方法及び異常検出装置 2022年12月20日

846 件中 1-15 件を表示

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2022-191960 2022-191045 2022-553678 2022-188851 2022-188853 2022-188854 2022-189082 2022-189179 2022-189180 2022-189284 2022-189496 2022-190113 2022-188660 2022-552961 2022-187735

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